特許

J-GLOBAL ID：200903093692151457

エネルギーフィルタ

発明者： 田中 通義 ,  寺内 正己 ,  津田 健治 ,  津野 勝重 ,  本田 敏和
出願人/特許権者： 日本電子株式会社 ,  田中 通義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-204744
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025485
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 比較的簡便な構成で、2次収差をキャンセルしつつエネルギー分散をより増大させることができるエネルギーフィルタを得る。【解決手段】 また、エネルギーフィルタは、中心面Cに対して鏡面対称になるように構成されている。第1磁石10による第1の不均一磁場領域に入射したビーム1は、曲げられた後、第2磁石20による第2の不均一磁場領域に入射する。ビーム軌道は、第2磁石20による磁場領域によって湾曲し第2磁石20による磁場領域から出射して、第1磁石10による第3の磁場領域に入射する。第1磁石10による第3の磁場領域に入射したビームは、曲げられた後、出射スリットに至る。第1磁石10および第2磁石20は中心面対称であるから、エネルギーフィルタへの入射ビームの光軸とエネルギーフィルタからの出射ビームの光軸は一致し、また、2次収差はキャンセルされている。

請求項（抜粋）：

荷電ビームが順次通過する少なくとも3つの磁場領域を備えたエネルギーフィルタであって、荷電ビームが最初に入射し出射するビーム回転半径R1の磁場領域と、該ビーム回転半径R1の磁場領域を出射した荷電ビームが入射し出射するビーム回転半径R2の磁場領域と、ビーム回転半径R2の磁場領域を出射したビームが最後に入射し出射するビーム回転半径R1の磁場領域とを備え、前記荷電ビームが最初に入射し出射するビーム回転半径R1の磁場領域への入射ビームの光軸と前記ビームが最後に入射し出射するビーム回転半径R1の磁場領域からの出射ビームの光軸とが同一直線上にあるように前記少なくとも3つの磁場領域が配置されると共に、前記少なくとも3つの磁場領域には、各磁場領域におけるビームの回転中心に向かうにつれて強まる不均一な磁場が形成されることを特徴とするエネルギーフィルタ。

IPC (4件)：

H01J 37/05 ,  G21K 3/00 ,  G21K 5/04 ,  H01J 49/46

FI (4件)：

H01J 37/05 ,  G21K 3/00 Y ,  G21K 5/04 M ,  H01J 49/46

Fターム (3件)：

5C033AA03 ,  5C033AA05 ,  5C038KK12

引用特許：

審査官引用 (4件)

• オメガ型エネルギーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-056324   出願人：日本電子株式会社
• 結像用の電子エネルギーフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057386   出願人：カール-ツアイス-スチフツング
• オメガフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-316917   出願人：日本電子株式会社
• エネルギーフィルタおよびこれを備えた電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-232108   出願人：株式会社日立製作所