光導波路の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-173170
公開番号（公開出願番号）：特開平9-021922
出願日： 1995年07月10日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】光通信、光信号処理、光計測の分野において、特に、1.3μm帯及び1.5μm帯における信号光を増幅する機能を有する導波路型光増幅器に用いれば大きな効果が期待できる導波路型光部品の製造方法を提供する。【解決手段】平面基板上に形成された光を伝搬するコアと前記コアより屈折率の低いクラッドとから構成される石英系光導波路において、下部クラッド2にコア形成用の溝2aをフォト工程とエッチング工程とにより最初に作製して、コアを形成する凹型プロセスを活用して、光学活性物質であるEr添加ガラス4をEr無添加コアガラス7の中心部に添加する。

請求項（抜粋）：

平面基板上に形成されたコア及び該コアを囲み該コアより屈折率の低いクラッドよりなる光導波路の製造方法において、平面基板上に下部クラッド層を形成する下部クラッド層形成工程と、前記下部クラッド層に第1の溝を形成する第1溝形成工程と、前記下部クラッド層上に前記下部クラッド層より屈折率が高い第1のコア層を積層する第1コア層積層工程と、前記第1のコア層の前記第1の溝部分以外を除去する第1コア部成形工程と、前記第1のコア層に下面及び側面を残して第2の溝を形成する第2溝形成工程と、前記第1のコア層と屈折率が等しく、光学活性物質が添加された第2のコア層を前記下部クラッド層及び前記第1のコア層の上に積層する第2コア積層工程と、前記第2のコア層を前記第2の溝の上部に空間ができるように除去する第2コア部成形工程と、前記第1のコア層及び前記第2のコア層の上に前記第1のコア層を再度積層する第3コア層積層工程と、前記第1のコア層の前記第1の溝部分以外を除去する第3コア部成形工程と、前記下部クラッド層及び前記第1のコア部の上に前記第1のコア部より屈折率の低い上部クラッド層を形成する上部クラッド層形成工程と、よりなることを特徴とする光導波路の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 , G02B 6/00 , G02F 1/35 501

FI (3件)：

G02B 6/12 M , G02F 1/35 501 , G02B 6/00 C

引用特許：

出願人引用 (9件)

石英系光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-116144 出願人：日本電信電話株式会社
光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-149216 出願人：住友電気工業株式会社
特開昭61-083506

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審査官引用 (12件)

石英系光導波路及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-116144 出願人：日本電信電話株式会社
特開平4-060618
光導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-149216 出願人：住友電気工業株式会社

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