ウェ-ハの剥離方法および剥離装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005823
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208449
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】大径で重量のあるウェーハあるいは肉厚が薄く割れ易い太陽電池用ウェーハであっても支障なく的確に剥離することができるウェーハの剥離方法および剥離装置の提供。【解決手段】カーボンCに接着されたウェーハ列WSを温水中に浸漬することにより、接着剤を軟化させた状態で、この温水中でカーボンCおよびワークハンガ1をウェーハ列WSから引き離すことにより、ウェーハ列WSの各ウェーハの軸線に沿った方向の動きに対して温水が緩衝材として働き、各ウェーハが傾いたりバラバラになることがない上に、各ウェーハどうしが所定の間隔および姿勢を保持するとともに、この水に濡れた状態のウェーハ列WSから、ウェーハを1枚ずつ面方向にずらすことにより、両ウェーハ間の密着する力をそいで容易にウェーハを剥離する。

請求項（抜粋）：

固定部材に接着されたウェーハ列からウェーハを1枚ずつ剥離するウェーハの剥離方法であって、上記固定部材に接着されたウェーハ列を温水中に浸漬し、このウェーハ列を支持した状態で、上記固定部材を把持して上記ウェーハ列から分離する工程と、この固定部材を分離したウェーハ列の最端部から1枚ずつウェーハを面方向にずらすことによりウェーハ列からウェーハを剥離する工程とを具備したことを特徴とするウェーハの剥離方法。

IPC (2件)：

H01L 21/304 611 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/304 611 A , H01L 21/68 A

Fターム (3件)：

5F031CA02 , 5F031MA38 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (7件)

ウエハの処理システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-344385 出願人：株式会社日平トヤマ
ウェハの剥離方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-142000 出願人：三菱マテリアル株式会社, 三菱マテリアルシリコン株式会社
特開平2-025028

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