特許
J-GLOBAL ID:200903093962811357

半導体位置検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-072005
公開番号(公開出願番号):特開2000-082840
出願日: 1999年03月17日
公開日(公表日): 2000年03月21日
要約:
【要約】【課題】 小型で検出感度を向上可能な半導体位置検出器を提供する。【解決手段】 本半導体位置検出器においては、ゲート電極11の電位を制御することによって、基幹導電層2-1,2-2の遮断/接続制御を行うことで、半導体位置検出器をPSDとして機能させたり、2分割PD等として機能させる。この半導体位置検出器によれば、PSDとは別のPDを必要としないため、装置自体を小型化することができ、また、受光面に全信号光を照射することができるので、検出感度を向上させることができる。
請求項(抜粋):
受光面上の入射光位置に応じて半導体導電層の両端部からそれぞれ出力される電流値が可変する半導体位置検出器において、前記半導体導電層の途中に前記両端部間の電気伝導を遮断可能なゲート手段を設けたことを特徴とする半導体位置検出器。
IPC (4件):
H01L 31/16 ,  G01C 3/06 ,  G02B 7/32 ,  G03B 13/36
FI (4件):
H01L 31/16 B ,  G01C 3/06 A ,  G02B 7/11 B ,  G03B 3/00 A
引用特許:
出願人引用 (8件)
  • 特開昭61-283172
  • 位置検知センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-185364   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 二次元光位置検出素子
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平2-403003   出願人:浜松ホトニクス株式会社
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審査官引用 (14件)
  • 特開昭61-283172
  • 特開昭61-283172
  • 位置検知センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-185364   出願人:オリンパス光学工業株式会社
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引用文献:
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