特許
J-GLOBAL ID：200903093992414328

表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法

発明者：
溝口 賢一郎

溝口 賢一郎 について

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田中 薫

田中 薫 について

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吉田 一雅

吉田 一雅 について

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風間 彰

風間 彰 について

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窪津 実

窪津 実 について


出願人/特許権者：
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-110770
公開番号（公開出願番号）：特開2008-267972
出願日： 2007年04月19日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】小さな凹凸欠陥や模様状欠陥を精度良くかつほぼ同時に検出することができる新規な表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法の提供。【解決手段】直線偏光を被検査面に入射し、その反射光を3つの受光カメラ29a,29b,29cで受光して前記被検査面上の欠陥を検査する方法であって、前記3つの受光カメラ29a,29b,29cのうちの第1の受光カメラ29aと第2の受光カメラ29bを前記被検査面からの正反射光路上に配置すると共に、前記第3の受光カメラ29cを正反射光路上から所定角度ずらして配置して前記被検査面からの反射光をこれら3つの受光カメラ29a,29b,29cで同時に受光して前記被検査面上の欠陥を検査する。これによって小さな模様状欠陥は勿論、従来の偏光式表面欠陥検査装置では識別が困難であった小さな凹凸欠陥についても高精度に識別することができる。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
被検査面に直線偏光を入射する直線偏光光源と、前記被検査面からの反射光をそれぞれ所定の検光角で受光する第1〜第3の3つの受光カメラとを有する表面欠陥検査装置であって、 前記3つの受光カメラのうちの第1の受光カメラと第2の受光カメラを前記被検査面からの正反射光路上に配置すると共に、前記第3の受光カメラを正反射光路上から所定角度ずらして配置したことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/89 ,  G01N 21/894
FI (2件)：
G01N21/89 H ,  G01N21/894 B
Fターム (13件)：
2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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