研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318625
公開番号（公開出願番号）：特開平10-146748
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：

【要約】【課題】あらゆる非球面形状の工作物を研磨加工でき、工具の形状・摩耗管理が比較的容易で、工具軸と工作物の幾何学的位置関係の管理が容易で、研磨量の設定管理が容易な研磨装置を提供する。【解決手段】工作物12を直交するX軸,Y軸スライドテーブル上に設置固定し、図示しないNC制御装置によって加工データを呼び出し、加工開始する。所望の加工開始点に達したら、ポリッシャ11を回転させ、Z軸スライドテーブル3を下降してポリッシャ11を工作物12の面に接触させる。ここで、研磨工具部5を有するZ軸スライドテーブル3は、バランスウェイトとワイヤ13によって重力補償され、空気圧シリンダ6によって一定圧で下方に押圧され、定圧制御により研磨する。加工中の押圧力は、荷重検出手段7によって検出し、図示しない圧力制御部にフィードバック信号を戻し、空気圧シリンダの空気圧を圧力制御する。

請求項（抜粋）：

軸受支持されて回転駆動される球形ポリッシャを有する研磨工具部と、該研磨工具部を傾斜して支持するコラムと、該コラムを昇降させて位置制御(定位置制御)するスライドテーブルとを具備したことを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 13/06 , B24B 17/08

FI (2件)：

B24B 13/06 , B24B 17/08 C

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-232950
特開昭63-232957
研磨装置の加圧機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-334244 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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