特許
J-GLOBAL ID：200903094028572310
半導体力学量センサ
出願人/特許権者：
株式会社デンソー
株式会社デンソー について
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369030
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166999
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：
【要約】【課題】 半導体基板に2軸方向に変位可能な可動電極、該可動電極と検出間隔を有して対向する固定電極を形成し、当該二つの軸方向へ発生する力学量を両電極間の容量変化に基づいて検出するようにした半導体力学量センサにおいて、各々の軸方向への出力における他軸感度を低減する。【解決手段】 櫛歯状の可動電極30と各固定電極40〜70との間に形成された各検出容量CX11、CX21、CX12、CX22、CY11、CY21、CY12、CY22において、可動電極30の第1の方向Xまたは第2の方向Yへの変位を、四つの差動出力(CX21-CX11)、(CX12-CX22)、(CY21-CY11)、(CY12-CY22)の総和に基づいて検出する。
請求項（抜粋）：
半導体よりなる半導体基板(12)と、この半導体基板に形成され力学量の印加に応じて前記半導体基板と平行な面内にて相直交する第1の方向(X)及び第2の方向(Y)へ変位可能な可動電極(30)と、前記半導体基板のうち前記第2の方向(Y)に沿った前記可動電極の両端部と対向する部位にそれぞれ形成され、前記可動電極との間に第1の検出容量(CX11、CX21、CX12、CX22)を形成する一対の第1の固定電極(40、50)と、前記半導体基板のうち前記第1の方向(X)に沿った前記可動電極の両端部と対向する部位にそれぞれ形成され、前記可動電極との間に第2の検出容量(CY11、CY21、CY12、CY22)を形成する一対の第2の固定電極(60、70)とを備え、前記第2の方向(Y)に沿った前記可動電極の一端部側に形成された一方の第1の検出容量(CX11、CX21)は、前記可動電極の第1の方向(X)への変位に対して互いに増減方向が異なるとともに、前記可動電極の第2の方向(Y)への変位に対して互いに増減方向が同じである二つの検出容量(CX11、CX21)から構成されており、前記第2の方向(Y)に沿った前記可動電極の他端部側に形成された他方の第1の検出容量(CX12、CX22)は、前記可動電極の第1の方向(X)への変位に対して互いに増減方向が異なるとともに、前記可動電極の第2の方向(Y)への変位に対して互いに増減方向が同じである二つの検出容量(CX12、CX22)から構成されており、前記第1の方向(X)に沿った前記可動電極の一端部側に形成された一方の第2の検出容量(CY11、CY21)は、前記可動電極の第2の方向(Y)への変位に対して互いに増減方向が異なるとともに、前記可動電極の第1の方向(X)への変位に対して互いに増減方向が同じである二つの検出容量(CY11、CY21)から構成されており、前記第1の方向(X)に沿った前記可動電極の他端部側に形成された他方の第2の検出容量(CY12、CY22)は、前記可動電極の第2の方向(Y)への変位に対して互いに増減方向が異なるとともに、前記可動電極の第1の方向(X)への変位に対して互いに増減方向が同じである二つの検出容量(CY12、CY22)から構成されており、力学量の印加に応じて前記可動電極が前記第1の方向(X)または前記第2の方向(Y)へ変位したとき、前記二つの一方の第1の検出容量同士の差動出力(CX21-CX11)と前記二つの他方の第1の検出容量同士の差動出力(CX12-CX22)と前記二つの一方の第2の検出容量同士の差動出力(CY21-CY11)と前記二つの他方の第2の検出容量同士の差動出力(CY12-CY22)との和に基づいて印加力学量を検出するようにしたことを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (3件)：
FI (3件)：
Fターム (13件)：
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA32
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112EA03
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112FA01
, 4M112GA03
引用特許：
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