特許
J-GLOBAL ID：200903094091188538

3次元計測装置及び3次元計測方法

発明者：
藤原 久利

藤原 久利 について


出願人/特許権者：
株式会社山武

株式会社山武 について


代理人 (7件)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  栗原 彰 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-157177
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361142
出願日： 2003年06月02日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】3次元計測で、微細な構造の被計測物体の測定を可能とし、且つ高さ方向に距離が大きい被計測物体でも正確な計測を行うことが可能とする3次元計測装置を提供する。【解決手段】Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチでX-Y平面に配列した格子30と、被計測物体50に対して、格子30の面をZ軸方向に移動させる格子位置制御部4と、それぞれ互いに空間周波数の異なる2種類の正弦波で示される、被計測物体50の2種類のモアレ縞を同時に形成するように格子30に平行光を照射する照射系(1a,1b)と、格子30を介して2種類のモアレ縞を取り込む第1及び第2受光部2a,2bと、2種類の正弦波を加算し合成波を形成し、この合成波の包絡線の振幅の変化から、被計測物体50のZ軸方向に測った高さを算出する画像処理部60とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
Y軸方向に延びるスリットを一定のピッチでX-Y平面に配列した格子と、 被計測物体に対して、前記X-Y平面からなる格子の面を前記X-Y平面に直交するZ軸方向に移動させる格子位置制御部と、 それぞれ互いに空間周波数の異なる2種類の正弦波で示される、前記被計測物体の2種類のモアレ縞を同時に形成するように前記格子に平行光を照射する照射系と、 前記格子を介して前記2種類のモアレ縞を取り込む第1及び第2受光部と、 前記第1及び第2受光部から得られた2種類の正弦波を加算し合成波を形成し、該合成波の包絡線の振幅の変化から、前記被計測物体のZ軸方向に測った高さを算出する画像処理部 とを備えることを特徴とする3次元計測装置。
IPC (1件)：
G01B11/25
FI (1件)：
G01B11/24 E
Fターム (17件)：
2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF08 ,  2F065FF51 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL59 ,  2F065QQ16
引用特許：
審査官引用 (4件)
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