特許
J-GLOBAL ID：200903094213040545
熱処理設備
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-244998
公開番号（公開出願番号）：特開2006-063363
出願日： 2004年08月25日
公開日（公表日）： 2006年03月09日
要約：
【課題】同種若しくは異種の処理チャンバを多数設けることが可能であって、生産量の増減に対しても簡単に対応することができ、またヒートパターンの異なる熱処理を同時に進行可能であって、多品種少量生産の要請に対しても柔軟に対応することのできる熱処理設備を提供する。【解決手段】一連の熱処理工程の一部分を受け持つ同種若しくは異種の処理チャンバ10A,10B,12を複数設けて、被処理品Wを各処理チャンバ10A,10B,12間で搬送して一連の熱処理を完結するようになした熱処理設備において、搬送ユニット14を各処理チャンバ10A,10B,12と分離して独立に構成し、搬送ユニット14全体を走行させて各処理チャンバ10A,10B,12との間で被処理品Wを搬送するようになす。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一連の熱処理工程の一部分を受け持つ同種若しくは異種の処理チャンバを複数有し、被処理品を全ての若しくは一部の処理チャンバ間で搬送ユニットにより搬送して一連の熱処理を完結するようになした熱処理設備において、
前記搬送ユニットを前記処理チャンバと分離して独立に構成し、該搬送ユニット全体を走行させて、前記処理チャンバとの間で前記被処理品を受け渡しするようになしてあることを特徴とする熱処理設備。
IPC (5件)：
C21D 1/06
, C21D 1/773
, F27D 3/12
, F27D 7/06
, F27D 15/00
C21D1/06 A
, C21D1/773 Z
, F27D3/12 C
, F27D7/06 A
, F27D15/00 Z
4K055AA06
, 4K055GA01
, 4K055GA05
, 4K063AA05
, 4K063AA15
, 4K063AA16
, 4K063BA02
, 4K063CA03
, 4K063DA19
, 4K063DA23
, 4K063HA66
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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