特許
J-GLOBAL ID：200903094297397788

イオンビーム電流計測装置の構造

発明者：
井田 一広

井田 一広 について


出願人/特許権者：
宮崎沖電気株式会社

宮崎沖電気株式会社 について

, 
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 清水 守 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-216977
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033292
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 フラグファラデー形状を変更し、スパッタされる部分の面積を小さくする、またはカバーとして用いるカーボン板などの形状を変更し、スパッタされる部分の面積を小さくすることができるイオンビーム電流計測装置の構造を提供する。【解決手段】 大電流イオン注入装置におけるイオンビーム電流計測装置4のイオンビームと近接する面4Bの形状をR形に構成し、イオンビームと接触する面積を低減する。
請求項（抜粋）：
大電流イオン注入装置におけるイオンビーム電流計測装置のイオンビームと近接する面の形状をR形に構成し、イオンビームと接触する面積を低減することを特徴とするイオンビーム電流計測装置の構造。
IPC (5件)：
H01L 21/265 ,  C23C 14/48 ,  G01T 1/29 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/317
FI (5件)：
C23C 14/48 B ,  G01T 1/29 B ,  G21K 5/04 C ,  H01J 37/317 C ,  H01L 21/265 T
Fターム (8件)：
2G088EE29 ,  2G088FF13 ,  2G088GG27 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ37 ,  4K029DE00 ,  4K029EA09 ,  5C034CC19
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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