特許
J-GLOBAL ID：200903094326047040

走査型電子顕微鏡における自動焦点合わせ方法

発明者：
矢作 栄司

矢作 栄司 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-086176
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277046
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 非点収差の有無や試料内の各エッジの分布状態などにかかわらず、常に合焦点位置を求めて走査型電子顕微鏡の焦点合わせを自動的に行う。【解決手段】 対物レンズ電流値を変化させながら、各対物レンズ電流値に対するx方向検出値とy方向検出値とを得て(ステップS1〜S5)、x方向検出値の最大値とy方向検出値の最大値とを検出し、それらx方向検出値の最大値とy方向検出値の最大値とに基づき合焦点位置を求めて(ステップS6)、焦点合わせを行う(ステップS7)。x方向検出値は、y方向に沿った情報信号を積分したy方向積分情報信号を単位情報値とし所定の演算式を用いて算出し、y方向検出値は、x方向に沿った情報信号を積分したx方向積分情報信号を単位情報値とし所定の演算式を用いて算出する。
請求項（抜粋）：
電子銃から放出された電子線を収束させるとともに2次元的に走査して試料面上に照射し、前記電子線の照射に基づいて試料から得られた2次元の情報信号群を検出して合焦点位置を求める走査型電子顕微鏡における自動焦点合わせ方法において、前記2次元の情報信号群に対して、その2次元のうちの一方側の方向(x方向)に沿ったx方向検出値を、前記x方向と直交する方向(y方向)に沿った情報信号を積分したy方向積分情報信号を単位情報値とし所定の演算式を用いて算出するものとし、また、前記y方向に沿ったy方向検出値を、前記x方向に沿った情報信号を積分したx方向積分情報信号を単位情報値とし所定の演算式を用いて算出するものとして、対物レンズ電流値を変化させながら、各対物レンズ電流値に対する前記x方向検出値と前記y方向検出値とを得て、前記x方向検出値の最大値と前記y方向検出値の最大値とを検出し、それらx方向検出値の最大値とy方向検出値の最大値とに基づき合焦点位置を求めて、焦点合わせを行うことを特徴とする走査型電子顕微鏡における自動焦点合わせ方法。
Fターム (2件)：
5C033MM04 ,  5C033MM05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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