分割されたウェーハの洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-321316
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162150
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】切削溝の幅が狭いと、洗浄液の圧力を高めても、切削溝内に実質的にかかる圧力は小さくなるため溝内に残留した切削屑を溝から追い出し完全に除去することができず、切削屑が異物となる。【解決手段】上下方向に配置された回転軸10周りに回転し、周縁部に分割されたウエーハを貼着したシート18をそのウエーハ貼着面を下方に向けて保持するシート保持部16を有する回転体12と、回転体12の回転中心を通る少なくとも一つの半径方向と平行に配置され、ウエーハに向かって洗浄液22を吐出するノズル15とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

上下方向に配置された回転軸周りに回転し、周縁部にウエーハを貼着したシートをそのウエーハ貼着面を下方に向けて保持するシート保持部を有する回転体と、回転体の回転中心を通る少なくとも一つの半径方向と平行に配置され、ウエーハに向かって洗浄液を吐出するノズルを開口した洗浄液供給手段とを備えたことを特徴とする分割されたウエーハの洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/304 341 N , H01L 21/304 341 M , H01L 21/78 P

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-233957
ウエハ洗浄装置及びウエハ洗浄方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-190190 出願人：川崎製鉄株式会社
改良されたエアロゾル洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-120948 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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