反射電子検出器及びそれを有する走査型顕微鏡装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298769
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144247
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】反射電子検出器を備えた走査型電子顕微鏡装置において、試料観察位置特定用の光学顕微鏡の見込み角を大きくでき、また、他の検出器を試料に対して検出面を広い立体角で有するように配置できるようにし、さらに、反射電子検出器が試料からの反射電子を効率良く取り込むことができるようにすること。【解決手段】対物レンズ14の頂面14aの下側に設けられ、試料からの反射電子を検出するプラスチックシンチレータ型の反射電子検出器17を備えた走査型電子顕微鏡装置において、反射電子検出器17は、検出部17aの先端部38に対物レンズ14の頂面14aの半径と略同一半径をなす半円形状部44を設けると共に、該半円形状部44の周端面の少なくとも一部に上記対物レンズ14の傾斜面14bの延長面に沿う切欠面39を備えるものとした。

請求項（抜粋）：

対物レンズ(14)と試料(5)との間に配置され、反射電子を検出するためのシンチレータ(17a)を有する反射電子検出器(17)において、前記シンチレータ(17a)の先端部(38)に前記対物レンズ(14)の頂面(14a)の半径と略同一半径をなす半円形状部(44)を設けたことを特徴とする反射電子検出器。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 , H01J 37/29

FI (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/28 B , H01J 37/29

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査型電子顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-097802 出願人：株式会社トプコン
走査電子顕微鏡などの反射電子検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-219192 出願人：日本電子株式会社, 日本電子テクニクス株式会社
走査電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-312199 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ

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