特許
J-GLOBAL ID：200903094400852960
板状ワークの搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-190610
公開番号（公開出願番号）：特開2007-008644
出願日： 2005年06月29日
公開日（公表日）： 2007年01月18日
要約：
【課題】ワークが複数の搬送装置で乗り継ぎ移送される場合にその乗り継ぎを好適に行わせ、ひいては安定した浮上搬送を実現する。【解決手段】搬送装置10において、浮上テーブル12の上面には平面視において円形状をなす円形凹部15が複数形成されており、その円形凹部15には、円板状をなす複数の多孔質板19がそれぞれ固着されている。浮上テーブル12の側方にはワーク搬送方向に沿って搬送レール21が設けられている。この場合、搬送レール21によるワーク支持位置を浮上テーブル12の上面よりも所定寸法だけ高位として多孔質板19による気体噴出時にワークWを下方に凸となる略弓形状とするとともに、乗り継ぎ部分の浮上テーブル12において多孔質体19の気体圧力を他よりも大きくするようにしている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面薄板状のワークを浮上させた状態で搬送する板状ワークの搬送装置において、
上面が水平面をなし前記ワークに対向する浮上テーブルと、
該浮上テーブルの上面に複数設けられその表面から気体を噴出させる多孔質体と、
前記浮上テーブルの側方においてワーク搬送方向に沿って設けられた搬送レール部材と、を備え、
前記搬送レール部材による前記ワークの支持位置を前記浮上テーブルの上面よりも所定寸法だけ高位として前記多孔質体による気体噴出時に前記ワークを下方に凸となる略弓形状とするとともに、前記浮上テーブルにおけるワーク搬送の始端又は終端となる部位の前記多孔質体の気体噴出量を他よりも多くする、又は同部位の多孔質体の気体圧力を他よりも大きくするように構成したことを特徴とする板状ワークの搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G49/06 Z
, H01L21/68 A
5F031CA05
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA63
, 5F031PA13
出願人引用 (2件)
-
板状部材の搬送装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-258134
出願人：第一施設工業株式会社, 永田徹三
-
薄板の搬送用支持装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-036914
出願人：シーケーディ株式会社
審査官引用 (5件)
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