特許
J-GLOBAL ID：200903023184013458
ウエハ固定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 進 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-109043
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307619
出願日： 1998年04月20日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 ウエハが付着したシートを固定する安価なウエハ固定装置を提供する。【解決手段】 ウエハ11が付着したシート12を固定するためのウエハ固定装置1であって、シート12を載せるテーブル2と、このテーブル2上のウエハ11が貼り付けられたシート面に対向する位置に環状に設けられたシール部をなすOリング9と、このシール部の内側に設けられた環状の間隙6を含む吸気用通路とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウエハが付着したシートを固定するためのウエハ固定装置であって、前記シートを載せるテーブルと、該テーブル上の前記ウエハが貼り付けられたシート面に対向する位置に環状に設けられたシール部と、該シール部の内側に設けられた吸気用通路とを含むことを特徴とするウエハ固定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/78 N
