特許
J-GLOBAL ID：200903094473984130

マイクロフローセンサを用いたガス密度測定方法

発明者：
瀬戸 実

瀬戸 実 について

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原田 鋭博

原田 鋭博 について

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犬塚 和宏

犬塚 和宏 について


出願人/特許権者：
東京瓦斯株式会社

東京瓦斯株式会社 について

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矢崎総業株式会社

矢崎総業株式会社 について


代理人 (4件)： 瀧野 秀雄 ,  越智 浩史 ,  松村 貞男 ,  垣内 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-292050
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125685
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】マイクロフローセンサを用い、簡易な方法でありながら、被測定ガスのスパン範囲が広い場合でも、精度よくガス密度を測定することを可能にするガス密度測定方法を提供する。【解決手段】被測定ガスが通過するガス流路の内壁に形成されたポケット部内に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルからそれぞれ出力される温度検出信号のうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力値と被測定ガスの密度との関係を、被測定ガスのスパン範囲に基づいて、センサ出力値と前記被測定ガスの密度逆数とが線形関係にあるとする第1形態、或いは、センサ出力値と被測定ガスの密度とが線形関係にあるとする第2形態、のいずれかのうちで、より近似されている方を選択し、この選択した形態を利用して、センサ出力値から前記被測定ガスの密度を求めるようにしている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
被測定ガスが通過するガス流路の内壁に形成されたポケット部内に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルからそれぞれ出力される温度検出信号のうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力値を利用して、前記被測定ガスの密度を求めるマイクロフローセンサを用いたガス密度測定方法であって、 前記被測定ガスのスパン範囲に基づいて、前記センサ出力値と前記被測定ガスの密度逆数とが線形関係にあるとする第1形態、或いは、前記センサ出力値と前記被測定ガスの密度とが線形関係にあるとする第2形態、のいずれかのうちで、より近似されている方を選択し、この選択した形態を利用して、前記センサ出力値から前記被測定ガスの密度を求める、 ことを特徴とするガス密度測定方法。
IPC (2件)：
G01N9/00 ,  G01F1/696
FI (2件)：
G01N9/00 B ,  G01F1/68 201Z
Fターム (2件)：
2F035EA08 ,  2F035EA09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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