特許
J-GLOBAL ID：200903094552885503
データラインと電荷収集電極との間に結合防止層を有するセンサアレイ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-154864
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123253
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 クロストークの原因となる容量結合を減少させたセンサアレイの提供。【解決手段】 センサアレイはそれぞれセンシング素子およびスイッチング素子を有するセルを備える。センシング素子は、電荷収集電極を備える。電荷収集電極とデータラインとの間の結合防止層によって、電極とデータラインとの間の容量結合が、そのレベルにおいてはクロストークが許容できないしきい値レベル未満に減少される。電荷収集電極がデータラインと重複する場合は、結合防止層によってクロストークは2%以下となるように容量結合を減少させることができる。結合防止層は、6未満の誘電率を有し、また1.5μmを超える厚さを有する誘電層であることが可能であり、誘電率が十分に低く、また厚さが十分に大きいので、結合防止層によって容量結合がしきい値レベル未満に減少される。または、結合防止層は導電性物質よりなる固定電位副層を備え、固定電位副層は、固定電位副層を固定電位に保持する回路構成に接続されるので、固定電位副層によって容量結合がしきい値レベル未満に減少される。
請求項（抜粋）：
M本のデータラインを備え、Mは2以上であり、また前記M本のデータラインのそれぞれに対して、多数のセルを備えるアレイ回路構成を有する形式の改良センサアレイであって、前記各セルは前記データラインに接続されるセル回路構成を備え、m番目の前記データラインに沿う前記各セルの前記セル回路構成は、刺激を受け取るためおよび受け取った前記刺激の測度を示す電気信号を与えるためのセンシング素子を備え、前記センシング素子は電荷収集電極を含み、前記セル回路構成は、さらに、m番目の前記データラインと前記電荷収集電極のデータリードとを接続し、前記センシング素子からの前記電気信号をm番目の前記データラインに与えるためのスイッチング素子を備え、一組の前記各電荷収集電極は、それぞれひとつの前記データラインと重複する重複領域を有し、また、各前記重複領域においては、前記電荷収集電極と当該電荷収集電極が重複する前記データラインとの間に結合防止層が設けられ、前記結合防止層は、前記電荷収集電極と前記データラインとの間の容量結合を、クロストークが2%以下であるしきい値レベル未満に減少させること、を特徴とする改良センサアレイ。
IPC (7件)：
G01T 1/00
, G01T 1/24
, G09F 9/33
, H01L 21/768
, H01L 27/146
, H01L 27/14
, H04N 5/335
G01T 1/00 B
, G01T 1/24
, G09F 9/33 P
, H04N 5/335 F
, H01L 21/90 V
, H01L 27/14 C
, H01L 27/14 K
