ペースト塗布機

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157819
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001026
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】ノズル交換でノズル吐出口の位置が変動しても、ノズルと基板との位置関係を所望に設定してペーストパターンの描画が正確にできるようにする。【構成】点P0はカメラの視野の中心であり、Xはこの点P0から位置ずれしていないノズル吐出口の真下位置までの距離である。いま、仮基板をカメラが撮像可能に配置し、次に、距離Xだけこの仮基板を移動させてノズル吐出口から仮基板にペーストを滴下して点打ちペーストP1を塗布し、さらに、点打ちペーストP1から±DXの位置に点打ちペーストP3,P5を、点打ちペーストP1から±DYの位置に点打ちペーストP2,P4を夫々塗布する。そして、仮基板を距離Xだけ上記とは逆方向に移動させ、点POを基準として、これら点打ちP1〜P5の位置ずれを検出し、ノズル吐出口の位置ずれ量を求める。この位置ずれ量を用いて、実際にパターンを形成する基板とノズルとの位置関係を調整する。

請求項（抜粋）：

テーブル上に載置された基板上にノズルからペーストを吐出させながら該ノズルと該テーブルとの相対位置関係を変化させることにより、該基板上に所望のパターンでペーストを塗布するペースト塗布機において、該テーブル上に載置された該基板の所望位置に対するノズル交換時の該ノズルの吐出口の位置を、該基板での互いに離れた任意数のペースト塗布点で計測する計測手段と、該計測手段による該各ペースト塗布点についての計測結果から、ノズル交換によるノズル吐出口の位置変動を算出する算出手段と、該算出手段で得られた結果から、ノズル交換後のノズル吐出口に対して該基板を所望位置に位置決めする位置決め手段とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。

IPC (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/00

FI (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-244258
塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-140657 出願人：松下電器産業株式会社
接着剤塗布装置及び接着剤塗布方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-180971 出願人：株式会社東芝

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