特許
J-GLOBAL ID：200903094676083693
電界放出型X線源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中村 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308759
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146158
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】フィラメントのない簡便な構造を持ち、高品質のX線放出が可能となる等の長所を有する電界放出型の電子放出源を有するX線源において、超高真空での動作が必要不可欠という難点を克服したX線源を提供する。【解決手段】陰極12は、カーボンナノファイバー12bの成長母体となるサブストレートとしてPd等のガス吸着材を選択し、カーボンナノファイバー12bの先端部にガス吸着材の微結晶12cを付加又は内蔵した構造を持った集合体をサブストレート上に構成したものである。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
高真空に維持された真空容器と、該真空容器内に設けられた陰極と、該真空容器内で該陰極とは電気的絶縁状態に設けられ、該陰極から電界によって放出された電子が入射されてX線を放出させる陽極とを有するX線管と、
該陰極と該陽極との間で電子を加速する高圧電源電流を印加する高圧電源とを備えた電界放出型X線源において、
前記陰極は、炭素系ナノ構造体の成長母体となるサブストレートとしてガス吸着材を選択し、該炭素系ナノ構造体の先端部に該ガス吸着材の微結晶を付加又は内蔵した構造を持った集合体を該サブストレート上に構成したものであることを特徴とする電界放出型X線源。
IPC (3件)：
H01J35/06
, H01J35/00
, H01J35/14
H01J35/06 B
, H01J35/00 A
, H01J35/14
