特許
J-GLOBAL ID：200903094681394931

耐蝕性部材およびその製造方法

発明者：
新木 清

新木 清 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-277818
公開番号（公開出願番号）：特開2001-097790
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：
【要約】【課題】加工面を有するセラミックス基体と、この基体の加工面の少なくとも一部を被覆するフッ化膜とを備えている耐蝕性部材において、耐蝕性部材をハロゲン系の腐食性ガスに対して曝露したときに、腐食による重量変化を減少させるのと同時に、パーティクルの発生を一層抑制する。【解決手段】セラミックス基体の加工面に露出する粒子の露出面におけるエッジが粒子内の物質移動によって鈍化している。フッ化膜が加工面をフッ素化合物に対して直接接触させることによって生成している。フッ化膜の厚さが0.01-5.0μmである。
請求項（抜粋）：
加工面を有するセラミックス基体と、この基体の前記加工面の少なくとも一部を被覆するフッ化膜とを備えている耐蝕性部材であって、前記セラミックス基体の前記加工面に露出する粒子の露出面におけるエッジが前記粒子内の物質移動によって鈍化しており、前記フッ化膜が前記加工面をフッ素化合物に対して直接接触させることによって生成しており、前記フッ化膜の厚さが0.01-5.0μmであることを特徴とする、耐蝕性部材。
IPC (4件)：
C04B 41/87 ,  C04B 41/85 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
FI (4件)：
C04B 41/87 D ,  C04B 41/85 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B
Fターム (14件)：
5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA02 ,  5F004DA03 ,  5F004DA04 ,  5F004DA17 ,  5F004DA29 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EB06 ,  5F045EF11 ,  5F045EM09
引用特許：
審査官引用 (3件)

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