特許
J-GLOBAL ID：200903094692055136
固体撮像素子及びその製造方法並びに撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-217216
公開番号（公開出願番号）：特開2008-039684
出願日： 2006年08月09日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】本発明は、テラヘルツ帯をはじめとする長波長光を、輻射熱揺らぎの影響を受けることなく、電気信号に変換し、おもに映像信号として出力する固体撮像素子及びその製造方法並びに撮像装置を提供する。【解決手段】セル部10は、入射された電波を受信することにより電気信号を生成するアンテナ部142と、アンテナ部に電気的に接続され、電気信号に応じたジュール熱を生成することにより、セル部の温度を変化させる電気抵抗12と、支持構造配線部111と電気的に接続されると共に、アンテナ部及び電気抵抗と電気的に絶縁され、かつ電気抵抗と熱的に接続され、セル部の温度変化を検出することにより、電気信号を生成する熱電変換素子31とを有し、セル部のうち電波の入射面側は、遠赤外線を反射する材料によって形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた読み出し配線部と、
前記半導体基板の表面部分に形成された凹部の上方に配置され、前記読み出し配線部と電気的に接続された接続配線を有する支持構造部と、
前記凹部の上方に配置され、前記支持構造部によって支持されたセル部と
を備え、前記セル部は、
入射された電波を受信することにより電気信号を生成するアンテナ部と、
前記アンテナ部に電気的に接続され、前記電気信号に応じたジュール熱を生成することにより、前記セル部の温度を変化させる電気抵抗と、
前記支持構造部と電気的に接続されると共に、前記アンテナ部及び前記電気抵抗と電気的に絶縁され、かつ前記電気抵抗と熱的に接続され、前記セル部の温度変化を検出することにより、電気信号を生成する熱電変換素子と、
前記セル部のうち前記電波の入射面側に設けられた赤外線を反射する部材と、
を備えることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (5件)：
G01J 5/46
, H01L 27/14
, H01L 35/00
, G01J 5/48
, H04N 5/33
G01J5/46
, H01L27/14 K
, H01L35/00 S
, G01J5/48 A
, H04N5/33
2G066BA10
, 2G066BA13
, 2G066BA55
, 2G066BB07
, 2G066BB09
, 2G066BC02
, 2G066BC07
, 2G066CA01
, 4M118AA01
, 4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA35
, 4M118CB14
, 4M118DD02
, 4M118DD09
, 4M118EA01
, 4M118EA04
, 4M118FA06
, 4M118GA06
, 4M118GA10
, 5C024AX06
, 5C024CY47
