特許
J-GLOBAL ID：200903094755881880
露光装置及びその扉開閉制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311529
公開番号（公開出願番号）：特開平11-135408
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：
【要約】【課題】 露光装置のチャンバの扉を適切なタイミングで開けられるようにする。【解決手段】 チャンバ12の外面に扉(22、24)の開放許可を表示する表示装置34が設けられている。このため、扉(22、24)を開けても支障のないときにのみ、扉の開放許可を表示装置34により表示することにより、その開放許可の表示がなされた適切なタイミングで扉を開けることが可能になる。
請求項（抜粋）：
ビーム源からの露光ビームによりマスクを照射し、該マスクに形成されたパターンを感応基板上に転写する露光装置本体と、この露光装置本体が収納されるとともに、少なくとも1つの扉を有するチャンバとを備えた露光装置において、前記扉の開放許可を表示する表示装置が設けられていることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
H01L 21/30 516 Z
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68 A
, H01L 21/30 502 G
