特許
J-GLOBAL ID：200903017842682121
遠隔操作方法および半導体露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-219746
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172903
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、作業者が半導体露光装置での作業中に不意にオンライン接続されたホストコンピュータから半導体露光装置に対する遠隔操作が行われることによって発生するさまざまな危険を防止し、円滑な遠隔操作を可能とする半導体露光装置および遠隔操作方法を提供することにある。【構成】 1台あるいは複数台の半導体露光装置をオンライン操作可能なホストコンピュータからオンライン操作される半導体露光装置において、半導体露光装置に個別の遠隔操作禁止手段を設ける。また、危険防止機能の解除等の特定のコマンドに連動して自動的にオンライン操作禁止機能が作動する機能を設ける。
請求項（抜粋）：
1台あるいは複数台の半導体露光装置を遠隔操作可能な遠隔操作装置から遠隔操作される半導体露光装置の遠隔操作方法において、前記半導体露光装置が必要に応じて個別に前記遠隔操作を禁止することを特徴とする遠隔操作方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 502 G
, G03F 7/20 521
