特許
J-GLOBAL ID：200903094804846778

位置決め装置

発明者：
木村 篤史

木村 篤史 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 哲也 ,  齋藤 和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-048921
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243751
出願日： 2004年02月25日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】 駆動手段による駆動力を効率よく伝達してステージの加減速に遅れが生じないようにするとともに、ステージが長大になるのを回避する。【解決手段】 微動固定プレート9に連結され、該微動固定プレートをベース定盤1に対して移動させる第1駆動手段の可動磁石7およびリニアモータ固定子8と、微動固定プレート9と天板11に連結され、該天板を移動させる第2駆動手段の微動リニアモータ固定子および微動リニアモータ可動子と、微動固定プレート9と天板11との間にあって、該第1駆動手段の駆動力に応じて天板11に加速力を伝達する電磁継手のE字型電磁石12および磁性体板14とを備え、該電磁継手は、該天板の移動方向の前後側面に1対配置される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1テーブルに連結され、該第1テーブルを基礎テーブルに対して移動させる第1駆動手段と、 該第1テーブルと第2テーブルに連結され、該第2テーブルを移動させる第2駆動手段と、 該第1テーブルと該第2テーブルとの間にあって、該第1駆動手段の駆動力に応じて該第2テーブルに加速力を伝達する電磁継手とを備える位置決め装置において、 該電磁継手は、該第2テーブルの移動方向の前後側面に少なくとも1対配置されることを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01L21/68
FI (3件)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K
Fターム (12件)：
5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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