特許

J-GLOBAL ID：200903094804990895

部品保持具

発明者： 小森 敦 ,  八子 雄吾
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-176361
公開番号（公開出願番号）：特開2006-000930
出願日： 2004年06月15日
公開日（公表日）： 2006年01月05日
要約：

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことのできて、部品を破損させることのない、部品の加工及び搬送に使用する部品保持具を提供する。【解決手段】 上面が平坦に形成されたベース部材2と、該ベース部2の上面に少なくとも周縁部5で接着固定された上面に粘着部3が形成された粘着弾性シート部材4とを有し、ベース部材2又は粘着弾性シート部材4には圧縮気体を注入・排出する通気孔6が設けられ、該通気孔6から圧縮気体を注入することにより粘着弾性シート部材4が膨張して上方に隆起することで、粘着弾性シート部材4に取り付けられた部品Pと粘着弾性シート部材4との密着部の一部が剥がされるようにする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ベース部材と、該ベース部の上面に少なくとも周縁部で接着固定され、かつ上面に粘着部が形成された粘着弾性シート部材とを有し、前記粘着部に部品を密着保持するようにした部品保持具であって、 前記ベース部材又は前記粘着弾性シート部材には圧縮気体を注入・排出する通気孔が設けられ、該通気孔から圧縮気体を注入することにより前記粘着弾性シート部材が膨張して上方に隆起することで、前記粘着弾性シート部材に取り付けられた部品と前記粘着弾性シート部材との密着部の一部が剥がされるようにしたことを特徴とする部品保持具。

IPC (4件)：

B24B 41/06 ,  B23Q 3/08 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677

FI (4件)：

B24B41/06 L ,  B23Q3/08 Z ,  B65G49/07 G ,  H01L21/68 B

Fターム (16件)：

3C016DA01 ,  3C016DA13 ,  3C034AA20 ,  3C034BB73 ,  3C034DD08 ,  3C034DD10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA09 ,  5F031CA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA05 ,  5F031GA23 ,  5F031GA24 ,  5F031GA32 ,  5F031PA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板保持チャックとその製造方法、露光方法、半導体装置の製造方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-093308   出願人：ホーヤ株式会社
• 特公平07-093247号公報
  

審査官引用 (3件)

• 平板型基板ホルダー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-098122   出願人：鄭光鎬
• 研磨機におけるワークの取外し方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-035197   出願人：江口敏益
• 特開昭59-227195