特許
J-GLOBAL ID：200903094859592244

アクチュエータ及び印刷ヘッド

発明者：
由宇 喜裕

由宇 喜裕 について

, 
高橋 大輔

高橋 大輔 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-359245
公開番号（公開出願番号）：特開2004-165650
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】100μm以下の厚みで、焼成しても組成バラツキがないアクチュエータと、変位バラツキを改善したインクジェット用の印刷ヘッドを提供する。【解決手段】セラミック基板2の表面に、圧電セラミック層4と該圧電セラミック層4を挟持する一対の電極5、6とを具備する変位素子7が複数設けられてなるアクチュエータであって、前記圧電セラミック層4がPb、Zr及びTiを含むペロブスカイト型化合物からなるとともに、該ペロブスカイト型化合物の格子定数比c/aが1.013〜1.016、厚みが100μm以下であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
セラミック基板の表面に、圧電セラミック層と該圧電セラミック層を挟持する一対の電極とを具備する変位素子が複数設けられてなるアクチュエータであって、前記圧電セラミック層がPb、Zr及びTiを含むペロブスカイト型化合物からなるとともに、該ペロブスカイト型化合物の格子定数比c/aが1.013〜1.016、厚みが100μm以下であることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (9件)：
H01L41/09 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  C04B35/49 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H01L41/24 ,  H02N2/00
FI (10件)：
H01L41/08 J ,  C04B35/49 W ,  H02N2/00 C ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z
Fターム (30件)：
2C057AF22 ,  2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG14 ,  2C057AG39 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP25 ,  2C057AP57 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G031AA05 ,  4G031AA06 ,  4G031AA11 ,  4G031AA12 ,  4G031AA14 ,  4G031AA23 ,  4G031AA26 ,  4G031AA27 ,  4G031AA32 ,  4G031AA34 ,  4G031BA10 ,  4G031CA01 ,  5H680AA06 ,  5H680BC04 ,  5H680GG02 ,  5H680GG42 ,  5H680GG43
引用特許：
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM