特許
J-GLOBAL ID：200903094869401862

誘電体多層膜ミラー

発明者：
山形 積治

山形 積治 について


出願人/特許権者：
山形 積治

山形 積治 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335709
公開番号（公開出願番号）：特開2003-107223
出願日： 2001年09月27日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】【課題】 パルス幅が数十フェムト秒のように狭くて出力の大きい波長可変あるいは波長選択可能なパルスレーザ共振器の内部やその外部に用いられるミラーとして、800nm前後で100nmという広い波長範囲にわたっては、反射率が高々99.5%で分散補償機能を有するものが提案されていたが、損失が大きく多数回反射には使用できないのに加えて、分散補償特性も不十分であった。【解決手段】 4分の1波長の低屈折率層と高屈折率層とを交互に複数層積層した層と-40%〜+100%の範囲で4分の1波長からずらした屈折率層と高屈折率層とを交互に複数層積層した層とで形成した誘電体多層膜を用いて、波長700nm〜900nmにおいて、100nm以上にわたって99.9%以上の反射率であり、分散補償特性も優れたミラーを実現することができた。
請求項（抜粋）：
屈折率が比較的高い材料で作られた薄膜(以下、H層とも称する)と屈折率が比較的低い材料で作られた薄膜(以下、L層とも称する)が交互に積層されている多層膜を有する誘電体多層膜ミラーであって、前記多層膜が、光学膜厚が入射光の中心波長の4分の1の60%〜150%の範囲であるH層と光学膜厚が入射光の中心波長の4分の1の60%〜200%の範囲であるL層とが交互に合計40層以上積層されて構成されており、さらに、前記多層膜が、入射光としての所望の波長領域にわたって反射率が99.9%以上であり、かつ、入射光の群速度の2次の分散あるいは3次の分散あるいは2次の分散と3次の分散をそれぞれ所望の値に変えることができる多層膜であり、さらに、前記H層とL層とを交互に合計40層以上積層して構成された多層膜が、誘電体多層膜ミラーへの入射光が入射する入射面側とは反対側に形成されている光学膜厚が入射光の中心波長の4分の1±1%であるH層とL層とを交互に複数組積層した層(以下において、B層ともいう)と、B層に続いて入射面まで、光学膜厚が入射光の中心波長の4分の1±1%以外のH層とL層を含んで積層されている層(以下において、A層ともいう)とで構成されており、A層を構成する各薄膜のうち、光学膜厚が入射光の中心波長の4分の1±1%以外の各薄膜は、その光学膜厚が、L層においては入射光の中心波長の4分の1の60%〜200%の範囲にあり、H層においては入射光の中心波長の4分の1の60%〜150%の範囲にあることを特徴とする誘電体多層膜ミラー。
IPC (2件)：
G02B 5/08 ,  G02B 5/28
FI (2件)：
G02B 5/08 A ,  G02B 5/28
Fターム (12件)：
2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DB13 ,  2H042DC02 ,  2H042DE07 ,  2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA36 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61
引用特許：
審査官引用 (4件)
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