特許
J-GLOBAL ID:200903094993528390
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-293114
公開番号(公開出願番号):特開2001-117226
出願日: 1999年10月15日
公開日(公表日): 2001年04月27日
要約:
【要約】【課題】 高い耐サンドブラスト性を有し、更にドライフィルムレジストとした際の保護フィルムの剥離強度低下によるハンドリング性に優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決方法】 酸価が10〜150mgKOH/gであるカルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、光重合開始剤(B)及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(C)、好ましくは更に酸価を有しないウレタン(メタ)アクリレート系化合物(D)を含有してなる感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
酸価が10〜150mgKOH/gであるカルボキシル基含有ウレタン(メタ)アクリレート系化合物(A)、光重合開始剤(B)及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(C)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/027 513
, G03F 7/004 512
, H01J 11/02
FI (3件):
G03F 7/027 513
, G03F 7/004 512
, H01J 11/02 B
Fターム (21件):
2H025AA14
, 2H025AA16
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC45
, 2H025BC81
, 2H025BC85
, 2H025CC05
, 2H025CC20
, 2H025FA42
, 5C040GF18
, 5C040JA09
, 5C040JA15
, 5C040JA17
, 5C040KA16
, 5C040KB19
, 5C040MA23
引用特許:
出願人引用 (6件)
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-365137
出願人:日本合成化学工業株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-365138
出願人:日本合成化学工業株式会社
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特開平4-011245
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審査官引用 (7件)
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-365137
出願人:日本合成化学工業株式会社
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-365138
出願人:日本合成化学工業株式会社
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特開平4-011245
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