光起電力素子及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-000360
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186350
出願日： 1996年01月05日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】本発明は、透明層に発生したピンホールを修復することにより、光電変換効率が高く、しかも過酷な環境下における信頼性の高い、光起電力素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の光起電力素子は、少なくとも、銅を主成分とする金属層で表面が被覆された基板上に、第1透明層、半導体からなる光起電力層、及び第2電極が順次堆積されてなる光起電力素子において、前記第1透明層の一部にピンホールが存在するため、前記第1透明層で被覆されていない前記金属層の少なくとも表面部分が、酸化銅で覆われていることを特徴とする。また、本発明の光起電力素子の製造方法は、前記第1透明層を堆積した後、前記光起電力素子を表面から酸化処理する工程αを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも、銅を主成分とする金属層で表面が被覆された基板上に、第1透明層、半導体からなる光起電力層、及び第2電極が順次堆積されてなる光起電力素子において、前記第1透明層の一部にピンホールが存在するため、前記第1透明層で被覆されていない前記金属層の少なくとも表面部分が、酸化銅で覆われていることを特徴とする光起電力素子。

FI (2件)：

H01L 31/04 M , H01L 31/04 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

光電変換装置の短絡箇所の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-361499 出願人：キヤノン株式会社
特開昭63-076442
特開平4-234177

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