特許

J-GLOBAL ID：200903095040354502

ダイヤモンドライクカーボン積層皮膜部材及びその製造方法

発明者： 金原 理 ,  猿田 強 ,  泉 佳男
出願人/特許権者： 株式会社オーハシテクニカ
代理人 (2件)： 武政 善昭 ,  畑▲崎▼ 昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199802
公開番号（公開出願番号）：特開2008-024996
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：

【課題】比較的低温度によりダイヤモンドライクカーボン(DLC)皮膜を形成することで、基材強度の低下を抑制することができ、更に、基材へのDLC皮膜の成膜法を工夫することにより、疲労強度を高め、かつ皮膜密着性、摩擦摩耗特性を良好にする。【解決手段】アルミニウム、マグネシウム又はチタンの各合金等から成る基材1の表面に中間層2と、中間層2の表面に積層3を成膜形成したDLC積層皮膜部材であって、積層3は、DLC皮膜4と、金属を含有した金属含有DLC皮膜5とを交互に重ねた構造にする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

アルミニウム、マグネシウム又はチタンの各合金等から成る基材(1)の表面に中間層(2)と、該中間層(2)の表面に積層(3)を成膜形成したダイヤモンドライクカーボン(DLC)積層皮膜部材であって、 前記積層(3)は、DLC皮膜(4)と、金属を含有した金属含有DLC皮膜(5)とを交互に重ねた構造である、ことを特徴とするDLC積層皮膜部材。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  C23C 16/27 ,  C10M 103/02 ,  C10M 103/04

FI (5件)：

C23C14/06 P ,  C23C14/06 F ,  C23C16/27 ,  C10M103/02 Z ,  C10M103/04

Fターム (24件)：

4H104AA04A ,  4H104AA08A ,  4H104FA04 ,  4H104FA06 ,  4H104LA03 ,  4H104QA11 ,  4K029AA02 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC02 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  4K029EA08 ,  4K029FA05 ,  4K030BA28 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030JA10 ,  4K030LA23

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 摺動部材および皮膜形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-137298   出願人：トヨタ自動車株式会社
• ダイヤモンドライクカーボン硬質多層膜および耐摩耗性、耐摺動性に優れた部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-081969   出願人：株式会社神戸製鋼所
• 特許第3246513号公報
  
• ダイヤモンドライクカーボン多層膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-126827   出願人：株式会社神戸製鋼所