エッチングおよびドーピング複合物質

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：葛和清司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-537127
公開番号（公開出願番号）：特表2005-506705
出願日： 2002年09月13日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

本発明は、無機層のエッチングおよびその下の層のドーピングの両方に好適な、塩酸/フッ素酸を含まないエッチングおよびドーピング物質に関する。本発明はさらに、前記物質を用いる方法に関する。

請求項（抜粋）：

太陽電池の窒化シリコンパシベーションおよび反射防止層のエッチング法であって、リン酸またはリン酸塩を含むエッチング媒体を、単一の工程で、表面全体に、またはエッチングする表面領域に選択的に、適用することを特徴とする、前記方法。

IPC (2件)：

H01L31/04 , H01L21/306

FI (3件)：

H01L31/04 A , H01L21/306 E , H01L31/04 F

Fターム (11件)：

5F043AA35 , 5F043BB23 , 5F043DD07 , 5F043DD08 , 5F043DD10 , 5F043GG10 , 5F051AA02 , 5F051AA03 , 5F051CB21 , 5F051DA03 , 5F051HA03

引用特許：

審査官引用 (12件)

導電性ペースト
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-018617 出願人：シャープ株式会社
リン拡散用組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-082677 出願人：三菱マテリアル株式会社
導電性ペースト、この導電性ペーストからなるグリッド電極が形成された太陽電池及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290081 出願人：株式会社村田製作所

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