特許
J-GLOBAL ID：200903095174409680
サーモパイルアレイセンサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-339681
公開番号（公開出願番号）：特開2004-170375
出願日： 2002年11月22日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】センサー自身のホワイトノイズや周囲温度変化に起因するノイズやDCアンプに起因する1/fノイズなど影響を巧みに除去し、S/Nに優れたサーモパイルアレイセンサを提供すること。【解決手段】半導体基板5に測定用サーモパイルA1 〜A4 ,B1 〜B4 ,C1 〜C4 ,D1 〜D4 を複数並設してなるサーモパイルアレイセンサ3において、前記半導体基板5に、遮光された補償用サーモパイルX1 〜X4 を設けるとともに、前記測定用サーモパイルA1 〜A4 ,B1 〜B4 ,C1 〜C4 ,D1 〜D4 および補償用サーモパイルX1 〜X4 のそれぞれに信号取り出しのためのスイッチQr11 〜Qr45 ,Qc11 〜Qc45 を設け、測定用サーモパイルA1 〜A4 ,B1 〜B4 ,C1 〜C4 ,D1 〜D4 と補償用サーモパイルX1 〜X4 の出力の差に基づいて演算処理を行うようにしている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
半導体基板に測定用サーモパイルを複数並設してなるサーモパイルアレイセンサにおいて、前記半導体基板に、遮光された補償用サーモパイルを設けるとともに、前記測定用サーモパイルおよび補償用サーモパイルのそれぞれに信号取り出しのためのスイッチを設け、測定用サーモパイルと補償用サーモパイルの出力の差に基づいて演算処理を行うように構成したことを特徴とするサーモパイルアレイセンサ。
IPC (3件)：
G01J1/02
, G01J5/16
, G01J5/48
G01J1/02 C
, G01J1/02 Q
, G01J5/16
, G01J5/48 E
2G065AB02
, 2G065BA11
, 2G065BA14
, 2G065BA34
, 2G065BC02
, 2G065BC16
, 2G065BE08
, 2G065CA12
, 2G065CA21
, 2G065DA20
, 2G066BA08
, 2G066BB07
, 2G066BB11
, 2G066CA02
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
