特許
J-GLOBAL ID：200903041784896939

熱型機能デバイス、エネルギー検出装置および熱型機能デバイスの駆動方法

発明者：
田中 昭生

田中 昭生 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106770
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298062
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：
【要約】【課題】 熱型機能デバイスにおいて、熱的な反応速度を速くするとともに、低価格化および小型化を達成する。【解決手段】 ダイヤフラム2に向けて赤外線が照射されると、熱が発生し熱電変換素子4の出力が増大する。一方、参照用熱電変換素子5は赤外線の照射を受けないので出力信号は変化しない。演算増幅器19において、両者の出力の差異が検出され、これが増幅されて補償信号として出力される。補償信号は、ノイズフィルタ20を介して測定器21に供給される。測定器21は、この補償信号からダイヤフラム2の発熱量および赤外線照射量を算出する。同時に、補償信号は電熱変換手段3に供給される。補償信号の供給を受けた電熱変換素子3は、ダイヤフラム2へのエネルギー印加を相殺するように作動し、温度を一定に保つ。
請求項（抜粋）：
ダイヤフラムと、前記ダイヤフラム上に設けられており、熱を電気信号に変換する熱電変換素子と、前記ダイヤフラム上に前記熱電変換素子に隣接して設けられており、電気信号を熱に変換する電熱変換素子と、前記電熱変換素子の駆動を制御するために前記熱電変換素子の出力信号と比較される基準信号を供給する基準信号供給手段とを含む熱型機能デバイス。
IPC (8件)：
G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 35/00 ,  H01L 35/14 ,  H01L 35/16 ,  H01L 35/32 ,  H01L 37/00 ,  H01L 37/02
FI (8件)：
G01J 1/02 C ,  H01L 35/00 S ,  H01L 35/14 ,  H01L 35/16 ,  H01L 35/32 A ,  H01L 37/00 ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/14 K
Fターム (30件)：
2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065BA33 ,  2G065BB11 ,  2G065BC03 ,  2G065BC14 ,  2G065BC28 ,  2G065BC33 ,  2G065BE08 ,  2G065CA19 ,  2G065CA21 ,  2G065DA18 ,  4M118AA10 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118BA30 ,  4M118CA03 ,  4M118CA14 ,  4M118CA16 ,  4M118CA34 ,  4M118CA35 ,  4M118CB07 ,  4M118CB14 ,  4M118DB01 ,  4M118DD10 ,  4M118GA10
引用特許：
審査官引用 (5件)
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