特許
J-GLOBAL ID：200903095179744909

フォトレジスト用樹脂の製造方法

発明者：
水谷 能久

水谷 能久 について

, 
近藤 達治

近藤 達治 について


出願人/特許権者：
ダイセル化学工業株式会社

ダイセル化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 幸久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369076
公開番号（公開出願番号）：特開2006-176573
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 レジスト用溶剤に極めて溶解しやすいフォトレジスト用樹脂をスケールアップした工業的規模において効率よく製造する。【解決手段】 フォトレジスト用樹脂の製造方法は、単量体及び重合開始剤の溶液を重合系内に滴下することにより、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性となる基を含む繰り返し単位Aと極性基を有する脂環式骨格を含む繰り返し単位Bとを少なくとも含有するフォトレジスト用樹脂を、1バッチ当たり10kg以上製造する方法であって、予め重合容器内に、実質伝熱面積が1時間に滴下する溶液量に対して200cm2/kg以上となるように重合溶媒を仕込んでおき、昇温後、単量体及び重合開始剤の溶液を滴下開始することを特徴とする。単量体及び重合開始剤の溶液を滴下開始する前に、重合系内の温度を重合時の制御温度より1〜5°C高くしておき、滴下開始後に重合時の制御温度に設定してもよい。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
単量体及び重合開始剤の溶液を重合系内に滴下することにより、酸によりその一部が脱離してアルカリ可溶性となる基を含む繰り返し単位Aと極性基を有する脂環式骨格を含む繰り返し単位Bとを少なくとも含有するフォトレジスト用樹脂を、1バッチ当たり10kg以上製造する方法であって、予め重合容器内に、実質伝熱面積が1時間に滴下する溶液量に対して200cm2/kg以上となるように重合溶媒を仕込んでおき、昇温後、単量体及び重合開始剤の溶液を滴下開始することを特徴とするフォトレジスト用樹脂の製造方法。
IPC (3件)：
C08F 2/06 ,  C08F 220/18 ,  G03F 7/039
FI (3件)：
C08F2/06 ,  C08F220/18 ,  G03F7/039 601
Fターム (41件)：
2H025AA00 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J011AA02 ,  4J011AB02 ,  4J011BB12 ,  4J011DA04 ,  4J011HA03 ,  4J011HB02 ,  4J011HB16 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA04P ,  4J100BA11Q ,  4J100BB00P ,  4J100BC02P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100BC12Q ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA01 ,  4J100DA02 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100FA28 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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