特許
J-GLOBAL ID:200903095200587851
花弁状透明アルミナ膜及びその形成法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
坂本 栄一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-009981
公開番号(公開出願番号):特開平9-202649
出願日: 1996年01月24日
公開日(公表日): 1997年08月05日
要約:
【要約】【課題】 手軽に容易な手段で安価に効率よく得られ、特異なその空隙とその形状の集合体化にするようより制御した透明アルミナ膜とすることで、下地層膜等としてよりその性能を発揮し、より実用化の実効をもたらす膜を得る。【解決手段】 基体上にアルミニウムアルコキシドと安定化剤から少なくともなる塗布液を塗布し、アモルファスアルミナ膜を成膜した後、熱水処理し、乾燥のみまたは乾燥、焼成して成る、空隙をもって花弁状にランダム集合体化した透明アルミナ膜である花弁状透明アルミナ膜。特にその表層表面の平均面粗さRa’値が17nm以上、かつ比表面積SRが1.5 以上である花弁状透明アルミナ膜。ならびにその形成法。
請求項(抜粋):
基体上にアルミニウムアルコキシドと安定化剤から少なくともなる塗布液を塗布し、アモルファスアルミナ膜を成膜した後、熱水処理し、乾燥のみまたは乾燥、焼成して成る、空隙をもって花弁状にランダム集合体化した透明アルミナ膜であることを特徴とする花弁状透明アルミナ膜。
IPC (6件):
C03C 17/34
, B60J 1/00
, C03C 17/30
, C04B 35/115
, C23C 18/02
, C23C 24/08
FI (6件):
C03C 17/34 Z
, B60J 1/00 H
, C03C 17/30 A
, C23C 18/02
, C23C 24/08 C
, C04B 35/10 C
引用特許:
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