イオン源およびそのためのアテネ-タ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046419
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317175
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】出力ビーム電流の広い動作範囲を与え、イオン源内で発生するプラズマの構成を維持するイオン源及びそのためのアテネータを提供すること。【解決手段】イオン源26は、エキサイタ78によってイオン化されるガスを含むプラズマ室76を有し、このプラズマ室の開口部分50に配設した少なくとも1つの開口64を介してプラズマが引き出されてイオンビームを形成する。アテネータは、プラズマ室内に配置され、エキサイタ78と開口64との中間に設けられた部材90を含み、この部材90が、開口64に対応する第1開口97を有し、かつ開口64に対して第1,第2位置間を移動可能である。第1位置では、部材90が開口64の少なくとも一部を塞ぐためにこの開口に隣接して配置され、第2位置では、部材90が開口64を塞がないようにこの開口から離れて配置される。

請求項（抜粋）：

エキサイタ(78)によってイオン化されるガスを含むプラズマ室(76)を有し、このプラズマ室の開口部分(50)に配設した少なくとも1つの開口(64)を介してプラズマが引き出されてイオンビームを形成するイオン源(26)のためのアテネータ(90)であって、前記プラズマ室内に配置され、前記エキサイタ(78)と前記少なくとも1つの開口(64)との中間に設けられた部材(90)を含み、この部材(90)は、前記少なくとも1つの開口(64)に対応する少なくとも1つの第1開口(97)を有し、かつ前記開口(64)に対して第1,第2位置間を移動可能であることを特徴とするアテネータ。

IPC (4件)：

H01J 27/08 , H01J 37/08 , H01J 37/317 , H01L 21/265

FI (4件)：

H01J 27/08 , H01J 37/08 , H01J 37/317 Z , H01L 21/265 603 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

イオンビーム発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-129747 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭62-296351
電子ビーム励起イオンプラズマ発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-165753 出願人：理化学研究所, 川崎重工業株式会社

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