ペリクル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口恭弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-164175
公開番号（公開出願番号）：特開2007-333910
出願日： 2006年06月14日
公開日（公表日）： 2007年12月27日
要約：

【課題】水に可溶なイオンを低減し、且つアウトガスを低減して、硫酸アンモニウムに基づくヘイズ発生を抑制したペリクルを提供すること。【解決手段】表面にポリマー被膜を有するアルミニウム合金製ペリクルフレーム及びこれに張設したペリクル膜を有することを特徴とするペリクルであって、好ましくは前記ポリマー被膜が電着塗装膜であり、また、好ましくは前記ポリマー被膜が黒色艶消し電着塗装膜で、放射率が0.80〜0.99であるペリクル。【選択図】図1

請求項（抜粋）：