特許
J-GLOBAL ID：200903095428905586
結晶性基板の劈開方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247430
公開番号（公開出願番号）：特開2002-064236
出願日： 2000年08月17日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 一度の劈開で複数の位置に劈開面が形成できるようにすることを目的とする。【解決手段】 ガイド溝103の2つの隣辺が交わる頂点より開始される劈開面106に底辺が交わるように配置された三角形を底面とする三角柱のガイド孔104を形成し、基板101の裏面のガイド溝形成部に対向する位置に治具105によりに応力を加え、2つの劈開面106,106aを同時に形成する。
請求項（抜粋）：
結晶性を有する基板の主表面の端部から前記基板中央部に延在し、第1底辺が前記端部に重なる第1三角形を底面とする三角柱のガイド溝を形成し、前記基板の裏面の前記ガイド溝形成部に対向する位置に応力を加えたときに、前記ガイド溝の前記第1三角形の2つの第1隣辺が交わる第1頂点より開始される第1劈開面に第2底辺が交わるように配置された第2三角形を底面とする三角柱のガイド孔を形成し、前記基板の裏面の前記ガイド溝形成部に対向する位置に応力を加え、前記第1劈開面と、前記第2三角形の2つの第2隣辺が交わる第2頂点より開始される第2劈開面とで前記基板を劈開することを特徴とする結晶性基板の劈開方法。
Fターム (5件)：
5F073CA12
, 5F073CB02
, 5F073DA25
, 5F073DA32
, 5F073DA34
