多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：柳瀬睦肇 , 渡部温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-064695
公開番号（公開出願番号）：特開2004-250771
出願日： 2003年03月11日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】めっき法のように廃液の処理が必要なく、環境に対する負荷が小さい多角バレルスパッタ装置、多角バレルスパッタ方法及びそれにより形成された被覆微粒子、マイクロカプセル及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る多角バレルスパッタ方法は、重力方向に対して略平行な断面の内部形状が多角形である真空容器1内に微粒子3を収容し、前記断面に対して略垂直方向を回転軸として前記真空容器1を回転させることにより該真空容器1内の微粒子3を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うことで、該微粒子3の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜を被覆するものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微粒子を収容する真空容器であって重力方向に対して略平行な断面の内部形状が多角形である真空容器と、前記断面に対して略垂直方向を回転軸として前記真空容器を回転させる回転機構と、前記真空容器内に配置されたスパッタリングターゲットと、を具備し、前記回転機構を用いて前記真空容器を回転させることにより該真空容器内の微粒子を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うことで、該微粒子の表面に該微粒子より粒径の小さい超微粒子又は薄膜を被覆することを特徴とする多角バレルスパッタ装置。

IPC (4件)：

C23C14/34 , A61K9/50 , B01J3/00 , B01J13/04

FI (4件)：

C23C14/34 J , A61K9/50 , B01J3/00 J , B01J13/02 A

Fターム (21件)：

4C076AA61 , 4C076GG31 , 4G005AA01 , 4G005AB13 , 4G005AB15 , 4G005AB25 , 4G005BA20 , 4G005BB17 , 4G005BB19 , 4G005BB25 , 4G005CA07 , 4G005DA01Z , 4G005DA18X , 4G005EA03 , 4K029AA07 , 4K029AA22 , 4K029BA13 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029JA02 , 4K029JA08

引用特許：

審査官引用 (5件)

粉末コーティング用スパッタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-097376 出願人：日新製鋼株式会社
粉末コーティング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-097377 出願人：日新製鋼株式会社
特開昭61-030663

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