特許
J-GLOBAL ID：200903095441725856
均等圧ユニット及び該均等圧ユニットを備えたトランスファ機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-101269
公開番号（公開出願番号）：特開平11-291282
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年10月26日
要約：
【要約】【課題】 各ポット毎に樹脂圧がばらつくことなくプランジャを押動可能な均等圧ユニットをを提供する。【解決手段】 モールド金型の複数のポットに装填された樹脂をキャビティへ圧送可能なプランジャ17を押動可能に支持する均等圧ユニット16において、前記プランジャ17を取り付け可能な第1,第2ピストンロッド30,31を軸線方向に移動可能にマルチブロック28に複数箇所に支持すると共に該マルチブロック28から突出する向きに付勢し、前記マルチブロック28内に前記各ピストンロッド間を連通するように形成された液圧閉回路32に封入した液体の流動により前記マルチプランジャ17の押動動作のばらつきを吸収して均一となるように調整する。
請求項（抜粋）：
モールド金型の複数のポットに装填された樹脂をキャビティへ圧送可能なプランジャを押動可能に支持する均等圧ユニットにおいて、前記プランジャを取り付け可能な複数のピストンロッドを軸線方向に移動可能にブロック体に複数箇所に支持すると共に該ブロック体から突出する向きに付勢し、前記ブロック体内に前記各ピストンロッド間を連通するように形成された液圧閉回路に封入された液体の流動により、前記プランジャの押動動作のばらつきを吸収して均一となるように調整することを特徴とした均等圧ユニット。
IPC (4件)：
B29C 45/02
, B29C 45/26
, B29C 45/77
, H01L 21/56
B29C 45/02
, B29C 45/26
, B29C 45/77
, H01L 21/56 T
