特許
J-GLOBAL ID：200903095562040613

プローブユニット

発明者：
樋山 邦夫

樋山 邦夫 について


出願人/特許権者：
ヤマハ株式会社

ヤマハ株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383713
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185676
出願日： 2001年12月17日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 寸法安定性および耐久性に優れたプローブユニットを提供する。【解決手段】 1本以上のプローブピン2と、プローブ保持部3とを備えたプローブユニット1。プローブピン2は、本体部2aと、ビーム部2bと、テーパ部2cと、配線取り出し部2dとから構成されている。ビーム部2bをニッケル-鉄合金を主成分とする金属材料で形成し、金属材料内のニッケル-鉄合金の含有量を、金属材料の全体量の95重量%以上とする。プローブピン2の表面の全部または一部に被覆層を形成する。ビーム部2bの先端に、尖塔状またはナイフエッジ状の突起部を形成する。
請求項（抜粋）：
先端部にビーム部を有するプローブピンと、プローブ保持部とを備えたプローブユニットであって、前記ビーム部がニッケル-鉄合金を主成分とする金属材料からなることを特徴とするプローブユニット。
IPC (4件)：
G01R 1/067 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01R 1/067 J ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K
Fターム (25件)：
2G003AA07 ,  2G003AB01 ,  2G003AG03 ,  2G003AG12 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  2G011AA04 ,  2G011AA15 ,  2G011AA21 ,  2G011AB06 ,  2G011AC13 ,  2G011AC14 ,  2G011AD01 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  2G132AA20 ,  2G132AB01 ,  2G132AF01 ,  2G132AL03 ,  2G132AL11 ,  4M106AA04 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD03
引用特許：
審査官引用 (4件)
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