特許
J-GLOBAL ID：200903095698278818

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
西本 尚弘

西本 尚弘 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-239764
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083874
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 自己変位検出機能をもち、耐環境性に優れたカンチレバーチップを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバー部1bの少なくとも固定端部に、ピエゾ抵抗層2を形成し、このピエゾ抵抗層2の抵抗値変化から探針1aの変位を検出するように構成することにより、カンチレバーチップ1に自己変位検出機能を持たせ、しかもカンチレバー部1bの表面のうち、ピエゾ抵抗層2が形成された部分の表面のみに保護膜3を形成して、ピエゾ抵抗層2の表面を保護膜3で覆うことで、環境の影響を受け難くする。
請求項（抜粋）：
自由端に探針をもつカンチレバーチップと、このチップの探針と試料とを2次元方向に相対的に移動する機構を有し、その移動過程で探針の変位を検出して試料表面の微細構造の測定情報を得る顕微鏡において、上記カンチレバーチップには、カンチレバー部の少なくとも固定端部にピエゾ抵抗層が形成され、そのピエゾ抵抗層の抵抗値変化から上記探針の変位を検出するように構成されているとともに、カンチレバー部の表面のうち、ピエゾ抵抗層が形成された部分の表面のみが保護膜で覆われていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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