欠陥検出光学系、これを用いる欠陥検査方法および欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141295
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050209
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：

【要約】【課題】基板表面のスクラッチやカケ欠陥の散乱光の指向性に影響されることなく、欠陥検出が高い精度で検出でき、かつ構造が簡単な欠陥検出光学系欠陥検出光学系および欠陥検査装置を提供することにある。【解決手段】この発明は、ディスクの表面に垂直な方向に配置された対物レンズを有し受光器に検査領域の映像を結像させる受光光学系と、対物レンズの周囲に設けられディスクに平行な平面からみた角度が実質的に360°/n(ただしnは3以上の整数)の角度に配置されディスクへ検査領域への照射角が実質的にディスクの表面からみた仰角として55°〜60°であるn個の投光系とを備えるものである。

請求項（抜粋）：

検査されるディスクの表面を光ビームにより走査し、前記光ビームによる前記表面からの散乱光を受光器により受光してこの受光器が欠陥検出のための信号を発生する欠陥検出光学系において、前記ディスクの表面に垂直な方向において前記散乱光を受光する対物レンズを有しこの対物レンズを介して前記受光器に前記ディスクの検査領域の映像を結像させる受光光学系と、前記対物レンズの周囲に設けられ前記ディスクに平行な平面からみた角度が実質的に360°/n(ただしnは3か、これ以上の整数)の角度で実質的に均等に配置され前記検査領域への照射角が実質的に前記ディスクの表面からみた仰角において55°〜60°の範囲にあるn個の投光系とを備えることを特徴とする欠陥検出光学系。

Fターム (10件)：

2G051AA71 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051BB01 , 2G051BB09 , 2G051BB11 , 2G051CA01 , 2G051CB05 , 2G051DA08 , 2G051EA16

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-364451
特開昭59-135353
異物検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-154572 出願人：株式会社日立製作所

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