能動的除振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-340446
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169701
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】除振台に伝播する振動を、より適切に、フィードフォワードにより除去し、もって除振性能を向上させる。【解決手段】精密機器を搭載する除振台1と、除振台を支持する能動的な複数台のダンパ支持脚3と、これらダンパ支持脚に対する運動モード別の非干渉化フィードバック装置5、12〜16、23〜26あるいは前記ダンパ支持脚ごとに独立なフィードバック装置とを備えてなる能動的除振装置において、ダンパ支持脚の機構部材を介して前記除振台へ伝播する振動を検出するためにダンパ支持脚の足元直近に設置するダンパ支持脚の駆動自由度分の個数の振動センサ22と、振動センサの出力を適切に補償する床振動フィードフォワード補償器27を各ダンパ支持脚ごとに備え、床振動フィードフォワード補償器の出力を各ダンパ支持脚のアクチュエータを駆動するドライバ12の前段にフィードフォワードする。

請求項（抜粋）：

精密機器を搭載する除振台と、前記除振台を支持する能動的な複数台のダンパ支持脚と、前記複数台のダンパ支持脚に対する運動モード別の非干渉化フィードバック装置とを備えてなる能動的除振装置において、前記ダンパ支持脚の機構部材を介して前記除振台へ伝播する振動を検出するために前記ダンパ支持脚の足元直近に設置する前記ダンパ支持脚の駆動自由度分の個数の振動センサと、前記振動センサの出力を適切に補償する床振動フィードフォワード補償器を前記各ダンパ支持脚ごとに備え、前記床振動フィードフォワード補償器の出力を前記各ダンパ支持脚のアクチュエータを駆動するドライバの前段にフィードフォワードしたことを特徴とする能動的除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

防振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-146869 出願人：キヤノン株式会社
微動位置決め制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-132404 出願人：キヤノン株式会社

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