特許
J-GLOBAL ID：200903095946365170

エッチング液及びエッチング方法

発明者：
石川 誠

石川 誠 について

, 
斉藤 範之

斉藤 範之 について

, 
香月 隆伸

香月 隆伸 について


出願人/特許権者：
三菱化学株式会社

三菱化学株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-021114
公開番号（公開出願番号）：特開2009-182218
出願日： 2008年01月31日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：
【課題】 チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層をエッチングするのに好適なエッチング液及びエッチング方法を提供する。【解決手段】 珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有するエッチング液。及び、珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有するエッチング液により、チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体を一括エッチングする方法。チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層を珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有することを特徴とするエッチング液により同時にエッチングする方法。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
チタンを主成分とする層とアルミニウムを主成分とする層とを含んでなる積層体中のチタンを主成分とする層及びアルミニウムを主成分とする層を同時にエッチングするのに用いるエッチング液であって、珪フッ化水素酸、水、及び珪フッ化水素酸塩を含有することを特徴とするエッチング液。
IPC (4件)：
H01L 21/308 ,  C23F 1/26 ,  C23F 1/20 ,  C23F 1/44
FI (4件)：
H01L21/308 F ,  C23F1/26 ,  C23F1/20 ,  C23F1/44
Fターム (12件)：
4K057WA10 ,  4K057WA13 ,  4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WB15 ,  4K057WE07 ,  4K057WG03 ,  4K057WN01 ,  5F043AA27 ,  5F043BB16 ,  5F043BB18 ,  5F043GG02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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