特許
J-GLOBAL ID：200903067208953101

チタン、アルミニウム金属積層膜エッチング液組成物

発明者：
清水 寿和

清水 寿和 について


出願人/特許権者：
関東化学株式会社

関東化学株式会社 について


代理人 (2件)： 葛和 清司 ,  望月 史郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-226980
公開番号（公開出願番号）：特開2008-053374
出願日： 2006年08月23日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：
【課題】 ガラス等の絶縁膜基板、シリコン基板および化合物半導体基板上にスパッタリング法により成膜したチタンまたはチタンを主成分とする合金からなる層と、アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなる層とを含む金属積層膜を下地の基板等にダメージを与えることなく、さらに、テーパー角度を30〜90度に抑制し、積層膜を一括にエッチング可能なエッチング液組成物を提供する。【解決手段】 本発明のエッチング液組成物は、ヘキサフルオロケイ酸、ふっ化水素酸の金属塩またはアンモニウム塩、およびヘキサフルオロケイ酸の金属塩またはアンモニウム塩からなる群から選ばれた少なくとも1種のふっ素化合物と酸化剤とを含有する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
チタンまたはチタンを主成分とする合金からなる層とアルミニウムまたはアルミニウムを主成分とする合金からなる層とを含む金属積層膜を一括エッチングするのに用いるエッチング液組成物であって、ふっ化水素酸の金属塩またはアンモニウム塩、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフルオロケイ酸の金属塩またはアンモニウム塩、テトラフルオロホウ酸およびテトラフルオロホウ酸の金属塩またはアンモニウム塩からなる群から選ばれた少なくとも1種のふっ素化合物と酸化剤とを含有する、前記エッチング液組成物。
IPC (3件)：
H01L 21/308 ,  C23F 1/20 ,  C23F 1/26
FI (3件)：
H01L21/308 F ,  C23F1/20 ,  C23F1/26
Fターム (16件)：
4K057WA20 ,  4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WB15 ,  4K057WC05 ,  4K057WE07 ,  4K057WE25 ,  4K057WE30 ,  4K057WG02 ,  4K057WG03 ,  4K057WK01 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  5F043AA27 ,  5F043BB16 ,  5F043BB18
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (5件)
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