特許

J-GLOBAL ID：200903096009015666

空気保持装置

発明者： 明石 博
出願人/特許権者： 明石 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103055
公開番号（公開出願番号）：特開2001-353683
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【目的】ワークを効率よく、空中に浮遊した無接触状態にて懸垂把持し搬送する。【構成】腕状の基体Eの周壁1の下面に形成される保持面5と、基体Eの内部に形成されるクッション室4の中央部に設けられた、クッション室4あるいは下部に開口する通路2を備えた突部3とにより構成されている。

請求項（抜粋）：

腕状の基体の周壁の下端に、板状のワークに対向する作動面と、前記腕状の基体内部空間にクッション室とを形成し、クッション室上面より下面またはクッション室に開口する流路を備えた突部を設けたことを特徴とする空気保持装置。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B25J 15/06 Z ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 H ,  H01L 21/68 C

Fターム (16件)：

3C007AS01 ,  3C007DS01 ,  3C007FS04 ,  3C007FT11 ,  3C007FU00 ,  3C007NS09 ,  3C007NS12 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA28 ,  5F031NA02 ,  5F031NA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体チップのピックアップ装置およびピックアップ方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-150438   出願人：キューリックアンドソファーインベストメンツインコーポレーテッド
• 小形角型ワーク用非接触吸着ヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-112300   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
• 搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-348145   出願人：株式会社コガネイ
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-364858   出願人：株式会社オーク製作所