特許
J-GLOBAL ID：200903096055162606

マイクロメカニカル電位差センサ

発明者：
サンダット トーマス ジー.

サンダット トーマス ジー. について


出願人/特許権者：
ユーティ-バッテル エルエルシー

ユーティ-バッテル エルエルシー について


代理人 (1件)： 三枝 英二 (外8名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-537052
公開番号（公開出願番号）：特表2002-506990
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：
【要約】媒質の試料内の物理学パラメータおよび化学パラメータを検出及び測定するために使用されるマイクロカンティレバー電位差センサ(1)を説明する。マイクロカンティレバー状スプリングエレメント(3)には、モニターされる媒質の試料内の水素イオン、レドックス電位、またはイオン濃度に応答して表面電荷を蓄積する、コーティングされた領域上の少なくとも1つの化学物質コーティング(7)が含まれる。マイクロカンティレバー(3)の第1の表面での表面電荷の蓄積は、背中合わせの表面上での異なる表面電荷と共に、スプリングエレメント(3)の機械的な応力及びたわみを生じさせる。複数のたわみ検出方法の1つに、マイクロカンティレバー(3)上に焦点を合わせたレーザー光源(17)と、反射されたレーザーインパルスを受け取る光感知検出器(19)を用いることができる。マイクロカンティレバー状スプリングエレメント(3)は、長さが約1から100μm、幅が約1から50μm、および厚さが約0.3から3.0μmである。カンティレバー(3)のたわみの検出の精度は、たわみについて0.01ナノメートルの範囲である。パラメータを検出するマイクロカンティレバー装置(1)および方法では、スプリングエレメント(3)の表面の上または付近に、試料をわずか数マイクロリットル配置するだけでよい。この方法は、測定されるパラメータの検出に対して極めて感度が高い。
請求項（抜粋）：
モニターされる媒質の試料内の物理学パラメータおよび化学パラメータを検出及び測定する装置であって、 トランスデューサベースと、 前記ベースに取り付けられた少なくとも1つのカンティレバー状スプリングエレメントと、前記スプリングエレメントは: コーティングされた領域を有する少なくとも1つの表面と、 前記コーティングされた領域に付着された少なくとも1つの化学物質と 、前記少なくとも1つの化学物質は、前記試料内の前記パラメータに応答 して第1の表面電荷を蓄積し、前記試料は、前記コーティングされた領域 の上または直近に配置され、 前記第1の表面電荷と異なる表面電荷を有する前記スプリングエレメン ト上の第2の表面とを備え;及び 前記スプリングエレメントの前記表面上の前記表面電荷により生じる機械的応力に起因する前記スプリングエレメントのたわみを測定する手段とを含む装置。
IPC (2件)：
G01N 27/416 ,  G01N 13/16
FI (2件)：
G01N 13/16 C ,  G01N 27/46 353 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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