特許
J-GLOBAL ID：200903096059187735

走査型プロ-ブ顕微鏡

発明者：
中島 秀郎

中島 秀郎 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014003
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214066
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、プローブの劣化判定の精度及び速度を高め、また、プローブ交換を自動で行う。【解決手段】 特殊形状のグレーディング状の試料を測定して測定データを求め、測定データをプローブ先端の劣化状態を判定するための判断データとし、劣化判定に基づいてプローブの交換を行い、プローブの劣化判定の精度及び速度を高め、また、プローブの自動交換を可能とする。プローブP側に凸の傾斜面を少なくとも1面有する突出部を複数備え、該複数の突出部を、隣接する突出部の相対する傾斜面が成す角度がプローブの先端角度よりも狭角となるよう配置するプローブ劣化判定用試料1と、プローブ劣化判定用試料1を走査して得られる測定データの高さ方向の高低差としきい値とを比較し、比較結果に基づいてプローブの劣化判定を行うプローブ劣化判定手段と15を備え、プローブ劣化判定手段15の判定結果に基づいて、ヘッドに取り付けるプローブの交換を行う。
請求項（抜粋）：
プローブ側に凸の傾斜面を少なくとも1面有する突出部を複数備え、該複数の突出部を、隣接する突出部の相対する傾斜面が成す角度がプローブの先端角度よりも狭角となるよう配置するプローブ劣化判定用試料と、前記プローブ劣化判定用試料を走査して得られる測定データの高さ方向の高低差としきい値とを比較し、比較結果に基づいてプローブの劣化判定を行うプローブ劣化判定手段とを備え、プローブ劣化判定手段の判定結果に基づいて、ヘッドに取り付けるプローブの交換を行う、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G01N 13/12
FI (2件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 B
引用特許：
審査官引用 (4件)
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