特許
J-GLOBAL ID：200903096076325378
半導体力学量センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-382422
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330623
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：
【要約】【課題】 静電容量型の半導体加速度センサにおいて、検出間隔だけでなく検出間隔と反対側の間隔でも、可動電極と固定電極との付着を防止する。【解決手段】 錘部21は、その変位方向の軸Y1を中心として両側に、それぞれ櫛歯状の可動電極24を備え、可動電極24における櫛歯の隙間に噛み合うように櫛歯状の固定電極31、32が対向して配置されており、可動電極24と固定電極31、32との間に発生する静電引力の作用方向が、変位方向の軸Y1を中心とした錘部21の一側と他側とで、逆の方向となっている。個々の固定電極31、32において相手側の可動電極24と対向する両方の側面に、付着防止用の突起部33が形成されている。
請求項（抜粋）：
支持基板(11)上に、半導体よりなる可動部(20)、及び、この可動部と溝(14)を介して区画され前記支持基板に固定された半導体よりなる固定部(30)が形成されており、前記可動部は、力学量の印加に応じて所定方向に変位可能な錘部(21)と、この錘部における変位方向の軸(Y1)を中心として前記錘部の一側と他側に、それぞれ形成された櫛歯状の可動電極(24)とを備えており、前記固定部は、前記可動電極における櫛歯の隙間に噛み合うように対向配置された櫛歯状の固定電極(31、32)を備えており、力学量の印加に応じて前記可動電極が変位したとき、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量の変化に基づいて印加力学量を検出するようになっており、前記可動電極に対して前記固定電極との間に発生する静電引力の作用方向が、前記変位方向の軸を中心とした前記錘部の一側と他側とで、逆の方向となっている半導体力学量センサであって、前記可動電極及び前記固定電極の少なくとも一方には、個々の電極(31、32)において相手側電極(24)と対向する両方の側面に、当該側面より突出する付着防止用の突起部(33)が形成されていることを特徴とする半導体力学量センサ。
IPC (5件)：
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01L 1/14
, G01P 9/04
, H01L 29/84
G01P 15/125
, G01C 19/56
, G01L 1/14 K
, G01P 9/04
, H01L 29/84 Z
2F105BB00
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA26
, 4M112CA36
, 4M112EA03
, 4M112EA06
